X、Y軸測量精度(μm):3+L/200

Z軸測量精度(μm):5+L/200

重復(fù)精度（mm）:0.002

運動速度(mm/s): XY軸=0~400    Z軸=0~100

光柵尺: 1.0μm分辯率開放式玻璃光柵尺

圖像傳感器CCD: SBK-HC536 700線工業(yè)彩色相機

視頻采集卡：“大恒”高解晰度雙路彩色視頻卡

導(dǎo)軌: HIWIN SP級精密線性導(dǎo)軌

絲桿：TBI研磨滾珠絲桿

光學(xué)系統(tǒng): 6.5:1連續(xù)變倍導(dǎo)航鏡筒

放大倍率: 光學(xué)放大倍率:0.7-4.5X;影像放大倍率:24-158X

軟件: SBK-CNC全自動測量軟件

輪廓光源系統(tǒng): LED冷光源,256級亮度程控可調(diào)

表面光源系統(tǒng): 四環(huán)八區(qū)LED冷光源,各區(qū)獨立操控,256級亮度程控可調(diào)

運動控制: SBK4000全閉環(huán)控制系統(tǒng)

電 機：TIGER交流同步伺服電機

操作方式: 軟件+搖桿

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